低釋氣庫板

鑒于國內半導體不斷往納米微小化發(fā)展，潔凈車(chē)間對環(huán)境中氣態(tài)分子污染的要求不斷提高，低釋氣材料的適當替代遂成為建廠(chǎng)過(guò)程中的重要工程關(guān)鍵考慮。 為能更有效掌握質(zhì)量與交貨期...

芯片生產(chǎn)微環(huán)境（mini environment）設施

微環(huán)境（mini environment）被廣泛摻雜8以下芯片生產(chǎn)環(huán)境防護輔助。 公司于2004年從微環(huán)境專(zhuān)業(yè)廠(chǎng)商ASYST授權所有圖面與技術(shù)，開(kāi)始生產(chǎn)芯片生產(chǎn)專(zhuān)用微環(huán)境。并于2006年嘗試將CFD（計算流體...

洗滌式加濕系統

LK開(kāi)發(fā)的洗滌式加濕系統包含扇形Air washer系統和高霧化洗滌式加濕（Air Washer）系統兩種形式。 透過(guò)特殊設計的噴嘴形式，在低操作壓力（約3kg/cm2），即擁有約200m以及極細的78m的水霧效...

DCFU (Ducted Chemical Filter Unit) 系統

所謂的DCFU系統，意指將化學(xué)過(guò)濾器結合于一個(gè)具有風(fēng)機的單元，并直接連接于風(fēng)管末端，故名為風(fēng)管式化學(xué)過(guò)濾單元。 此系統最大的特點(diǎn)，就是節約客戶(hù)的運轉電費及化學(xué)過(guò)濾器的更換...